半導(dǎo)體制造業(yè)中的黃光區(qū)，不僅工藝復(fù)雜、設(shè)備維護(hù)頻繁而且設(shè)備也最為昂貴，因此，黃光區(qū)是每個(gè)半導(dǎo)體制造企業(yè)最為關(guān)注的區(qū)域之一。
簡(jiǎn)單來講
黃光區(qū)是指TFT工廠或者半導(dǎo)體工廠中的光刻區(qū)
包含光刻膠涂布、曝光、顯影及刻蝕工序
（因?yàn)楣饪棠z對(duì)其他光的波長(zhǎng)比較敏感，黃光照明避免了光輻照后可能產(chǎn)生的光刻膠變性，就像傳統(tǒng)的照相技術(shù)，膠片要在暗室才能洗出來。）
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本文主要結(jié)合天津市某超導(dǎo)凈化廠房 ISO5 級(jí)黃光區(qū)應(yīng)用實(shí)例對(duì)潔凈區(qū)靜電問題及處理方法（應(yīng)用材料）進(jìn)行探討:
黃光區(qū)是此潔凈廠房核心部件加工區(qū)域，空調(diào)面積 42㎡ ，建筑層高 3.7m，區(qū)內(nèi)負(fù)荷 46.95kW，黃光區(qū)技術(shù)設(shè)計(jì)參數(shù)如表 1 所示 。
其他潔凈區(qū)域特殊要求與設(shè)計(jì)參數(shù)，如表 2 所示。針對(duì)黃光區(qū)域施工工藝特殊性，本工程采用了不同的解決方法，供相關(guān)技術(shù)人員參考。
（黃光）潔凈區(qū)靜電問題及處理方法
工藝要求對(duì)室內(nèi)控制的相對(duì)濕度偏低，這就造成了區(qū)域內(nèi)空氣干燥，進(jìn)而會(huì)產(chǎn)生靜電問題，靜電的出現(xiàn)不但會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量，而且對(duì)區(qū)域內(nèi)的工作人員造成身體傷害，因此工作人員必須穿著防靜電服，在本工程中對(duì)潔凈區(qū)域采取了若干防靜電處理技術(shù)，如采用雙面防靜電的黃光高分子樹脂板（或玻璃），鋁蜂巢隔間做雙面防靜電處理，對(duì)于鋁塑板、 PU 庫(kù)板隔間墻做單面防靜電處理等，如圖所示。
該工程通過采用 Epoxy 技術(shù)，對(duì)地面，墻、柱、天花板做不同厚度 Epoxy 涂刷，成功地解決了地面防塵問題，又解決了區(qū)域防靜電問題。
最后考慮人員與物料傳輸過程也會(huì)對(duì)黃光區(qū)造成污染，因此還要設(shè)置氣阻室、空氣浴塵室以及傳遞箱，如上圖所示，所有這些措施只有一個(gè)目的就是維持黃光潔凈區(qū)域的潔凈度，確保生產(chǎn)工藝安全可靠。